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光學(xué)微電子實驗室設(shè)計施工要求

更新時間:2022-08-04

  光學(xué)微電子實驗室一般需要潔凈的環(huán)境, 所以其設(shè)計裝修要以潔凈度和溫濕度為主要技術(shù)需求。

  一、光學(xué)微電子實驗室平面布局設(shè)計要求

  1. 潔凈區(qū):潔凈等級設(shè)置為百級、千級或萬級

  2. 無塵輔助用房:潔凈等級設(shè)置為萬級、十萬級,一般包括人流進出潔凈用房,物料進出清潔區(qū)和部分辦公生活區(qū)等。

  3. 超凈凈化房間管理區(qū):潔凈等級設(shè)置為十萬級或三十萬級,一般包括辦公室、會議室、值班室和休息區(qū)。

  4. 專用設(shè)備區(qū):該區(qū)域?qū)諝鈨艋燃墰]有要求,但要求與凈化車間設(shè)置有效的物理或空氣隔離,本區(qū)域主要設(shè)置凈化空調(diào)機房、電氣用房、純水間、用氣間。

  二、光學(xué)微電子實驗室裝修施工要求

  1. 吊頂材料:采用FFU盲板或選用防火彩鋼板,吊頂內(nèi)須可上人,對承重要進行詳細(xì)技術(shù)。

  2. 墻體裝修材料:采用防火彩鋼板,彩鋼板厚度為50mm,可以盡量有效的適用場地的占地面積,該彩鋼板在安裝時需要進行接地處理,以到達排放靜電的功能。

  3. 地面裝修:一般選用環(huán)氧自流平或PVC卷材,但無塵房間內(nèi)須對上述兩種材料進行抗靜電處理。



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